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Shimadzu島津TMP-2804LMC磁懸浮分子泵維修, Shimadzu TMP-2804LMC(L2)分子泵進氣法蘭口VG250/ISO250B，出氣法蘭口KF40，抽速可達到2800L/s，轉速為27600rpm，島津TMP-2804LM磁懸浮分子泵對應的控制器為：Shimadzu EI-R04M
