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Agilent TV401/301 NSF是特殊設(shè)計的渦輪分子泵，有時又稱為Varian TV401-301，轉(zhuǎn)速為60000轉(zhuǎn)／分鐘，極限壓力：1X10-9pa可以同時抽取兩個腔體的真空，Varian TV401-301 的渦輪轉(zhuǎn)子采用Varian磚利的“MacroTorr”技術(shù)設(shè)計加工而成，整個渦輪轉(zhuǎn)子整體成型，共有由11層葉片組成，前七層為標(biāo)準(zhǔn)葉片，每層的角度從高到低，后四層為Varian 磚利技術(shù)的“Macrotorr”碟片組成，渦輪轉(zhuǎn)子其在分子泵內(nèi)部以60000轉(zhuǎn)／分鐘的速度高速旋轉(zhuǎn)。
