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廣州潽拓光電科技有限公司維修Shimadzu 島津TMP-2003M真空設備泵保養，Shimadzu TMP-2003LM/LMC TMP-2003M/MC分子泵抽速可達到2000L/s，轉速為27000rpm，極限壓力1x10-11Torr(1.3x10-11mbar)，對應的控制器為：Shimadzu EI-D2003M.
