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小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進行設(shè)計。它提供極高的吞吐量、高的性和的性能，滿足半導(dǎo)體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設(shè)計可節(jié)省可觀的空間，而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要
