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真空泵維修 KNF真空泵真空度不高維修檢測，機械泵在1pa以下工作性能很差.為了更好地與擴散泵配合，在機械泵和擴散泵之間可設置增壓泵.增壓泵可以選用羅茨泵和油增壓泵等
真空泵在投入生產使用中，一旦發生故障，會耽誤工期進展，設備的維護，是每個企業都十分重視的事情。只是在實際操作中，企業會使用不同的設備，但它們產生故障的問題基本相同。例如，接下來我們要了解的真空泵出現故障后該怎么解決。
真空泵故障維修分析內容如下：
如果真空泵不能啟動，就相當于一臺計算機，即使按標準操作，仍然不能正常操作，影響工作效率。當這種情況發生時，如何使設備在較短的時間內繼續投入正常生產是本文的主題。
在這種情況下，容器中的壓力再也不會降低了 有如此多類型的干式泵可供選擇，而選一個能和您的半導體工藝相匹配的類型是關鍵所在，篇:真空引水幾個要注意的問題2X型旋片式真空泵X型旋片式真空泵XZ型旋片式真空泵WX型無油真空泵XD型旋片式真空泵水環式真空泵系列BV型水環式真空泵BE型水環式真空泵SK型水環式真空泵SK型直聯水環式真空泵SK型水環式真。 設計中必須采用一定措施才能滿足使用條件，常見的特殊工況及設計處理方法如下，①抽除含有大量水蒸氣的混合氣體，或者類似具有較高蒸氣壓的氣體，如:乙醉，鹵代烴等，抽除這類氣體采用羅茨泵與水環泵的機組或者是羅茨泵與氣冷直排大氣羅茨泵的機組均可。
真空泵出現故障時，首先檢查設備電源接頭連接是否松動，保險絲是否熔斷;然后檢查設備本身是否有機械故障，如葉輪與泵體之間是否有雜物，這些雜物是否會造成堵塞;泵軸、軸承和減漏設備是否生銹;泵軸彎曲程度等。
轉子偏置在殼體中，炭精葉片與轉子滑槽作精密配合，借彈簧壓力使之緊靠于外殼內壁表面，殼體上部的進氣口與真空缸相連，并由止回閥防止空氣和潤滑油倒流，下部有出油孔通向曲軸箱工作過程和原理是:抽吸作用，由于轉子在殼體中偏置。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa 隨泵一起振動，③設備基礎為橡膠支座，設備支撐類型屬于柔性支撐，橡膠支座與泵和電機底盤僅有6個橡膠支座支撐，且接觸形式為點接觸，底盤其余部分與基礎懸空，未與基礎接觸，綜合上述分析，由水環真空泵振動檢測的結果可知。
真空泵維護保養要點：
1、真空泵停止后，應將真空泵泵及管路中殘留的水排空，并清理外部泥土，以免泵體及水管結冰后膨脹開裂。
2、真空泵底閥、彎頭等鑄鐵件，應先用鋼絲刷刷，然后涂上防銹漆后再噴涂。干燥后應存放在機房或儲藏室通風干燥處。
3、如果皮帶是由皮帶驅動的，皮帶取下后應用溫水清洗，晾干后掛在干燥無陽光直射的地方，不得存放于有油、腐蝕、有煙的地方。皮帶在任何情況下都不能沾上機油、柴油或汽油等油類物質，也不能涂上松香等粘性物質。
4、檢查滾珠軸承。如果內套磨損、松動、球磨或表面有，請更換。對于不需要更換的軸承，用汽油或煤油清洗，潤滑后重新安裝。
在崗位上對操作人員來說,傾聽應該是時時處處，絕不能稀里糊涂，真空泵維修人員判斷故障應掌握哪些知識?
（1）搞清楚設備及所屬零部件的形狀、排列順序和所處的位置；
（2）應熟知零部件的完好標準；
（3）應了解設備的用途,各零部件的作用；
（4）應了解設備各組成部分的材質；
（5）清楚零部件配合的技術要求。hjdgyabchjac
真空泵維修 Leybold真空泵啟動沒有反應維修檢修：http://www.jdzj.com/jiage/5_17663418.html
