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德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻機專用激光器
德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻機專用激光器
產(chǎn)品價格:¥30000(人民幣)
  • 規(guī)格:MLI-500
  • 發(fā)貨地:北京順義區(qū)
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1件
  • 誠信商家
    會員級別:鉆石會員
    認證類型:企業(yè)認證
    企業(yè)證件:通過認證

    商鋪名稱:北京漢達森機械技術有限公司

    聯(lián)系人:申紫東(先生)

    聯(lián)系手機:

    固定電話:

    企業(yè)郵箱:sales61@handelsen.cn

    聯(lián)系地址:北京市順義區(qū)南法信鎮(zhèn)旭輝空港中心C-1035室

    郵編:100102

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    商品詳情

      德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻機專用激光器

       

      MLI 系列由具有直接波長的準分子激光器組成,適用于工業(yè)應用。當然,我們可以調(diào)整我們的基本設備以滿足您的個性化需求。

      MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 準分子激光器是波長為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的脈沖重復頻率。

      它們是市場上使用壽命最長、可靠性、運營成本低的獨立設備。它們均勻的鋼型材和能量穩(wěn)定性使它們非常適合要求苛刻的應用。

      我們的LC準分子激光系統(tǒng)還能夠進行主動水冷卻(使用生活用水或外部熱交換器;無需純凈水),以實現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運行。

       

       

      常用型號:

      MLI-200

      MLI-500

      MLI-1000

      參數(shù)介紹:

      參數(shù)

      ArF

      ArF

      ArF

      KrF

      KrF

      KrF

      波長(納米)

      193

      193

      193

      248

      248

      248

      脈沖重復頻率(赫茲)

      200

      500

      1000

      200

      500

      1000

      穩(wěn)定的脈沖能量 (mJ)

      6

      6

      6

      10

      10

      10

      穩(wěn)定平均功率 (W)

      1,2

      3,0

      6,0

      2,0

      5,0

      10

      脈沖穩(wěn)定性(標準偏差%)

      2

      2

      2

      2

      2

      2

      光束寬度(FWHM,VxHmm)

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      光束發(fā)散(FWHM,VxHmm)

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      脈沖長度

      5-10

      5-10

      5-10

      5-15

      5-15

      5-15

      德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻機專用激光器

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  • 0571-87774297  
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