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1.MLI 系列設備為工業應用提供具有直接波長的準分子激光器。具有市場上最長的正常運行時間和可靠性以及的運營成本。由于均勻的光束輪廓和能量穩定性，適用于要求苛刻的應用。
2.MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的重復頻率。
3.當然，如果需要，標準設置的激光器可以根據個人需求進行調整。如：準分子激光器可用的波長為 193 nm（氣體：ArF 氟化氬）和 248 nm（氣體：KrF 氟化氪）。可根據要求提供其他波長如157nm等，也可以提供如高功率版本HP
MLI 系列準分子激光器型號：
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
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MLI-Krf-FBG/200/500/1000
