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尼康金相顯微鏡

集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對(duì)比度和可操作性能方面都達(dá)到新的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級(jí)檢查。

最大觀察樣品:

ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

使用CFI60光學(xué)系統(tǒng)，徹底消除耀斑影響，對(duì)比度更高，成象更加清晰、明亮；

物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長(zhǎng)工作距離兩方面的要求；

主機(jī)剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長(zhǎng)期操作也不易產(chǎn)生疲勞； 
 

尼康L300N/L300ND金相顯微鏡主要特點(diǎn)

? 專為300mm晶圓和光罩檢測(cè) 

? 利用更高的分辨率，對(duì)比度和透射CFI60光學(xué)系統(tǒng) 

? 更高的亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡 

? 新光源和四次美好的透射照明，先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)果 

?預(yù)中心的燈箱提供更高的亮度，同時(shí)僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦 

? 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器比傳統(tǒng)模式更耐用三倍

 應(yīng)用 ? 晶圓 ? 液晶顯示器 ? 其他各種檢查

 兩種機(jī)型可供選擇： 

?  L300N：Episcopic照明類型 

最大樣品尺寸：300mm晶圓 

第一階段行程：354 x302毫米 

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標(biāo)而定） 

?  L300ND：透射/ Episcopic照明類型 

最大樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD） 

第一階段行程：354 x302毫米（透射照明范圍：354 x268毫米）

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標(biāo)而定）

 各種各樣的觀測(cè)技術(shù) 

各種各樣的觀測(cè)技術(shù)，如明場(chǎng)，暗場(chǎng)，簡(jiǎn)單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。 采用Epi - flourescence觀察，紫外激發(fā)可應(yīng)用于包括300mm晶圓和OLED檢查應(yīng)用。

 暗場(chǎng)觀察 

新開(kāi)發(fā)的暗場(chǎng)照明光學(xué)顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內(nèi)樣品的劃痕和拓樸的檢測(cè)能力。

 明場(chǎng)觀察 

尼康CFI60系統(tǒng) - 一個(gè)成功合并的CF光學(xué)系統(tǒng)無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué) - 高亮度，高對(duì)比度的圖像。

 Nomarski DIC的觀測(cè) 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統(tǒng)，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過(guò)簡(jiǎn)單地插入物鏡轉(zhuǎn)換器單Nomarski棱鏡。  DIC的圖像清晰和與最小的色調(diào)明快，即使在低放大倍率。 高對(duì)比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。

 半兼容設(shè)計(jì) 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡符合半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)（SEMI）為安全準(zhǔn)則（S7 - 0703）和人體工程學(xué)（S8 - 1103）。 由于目鏡的位置更貼近運(yùn)營(yíng)商，不觸摸階段的運(yùn)營(yíng)商，即使是他或她的走向，確保安全，舒適地觀看。

 防靜電更強(qiáng)有力的保障 

靜電放電涂料已應(yīng)用于身體的階段，鏡筒（L2 - TT2型），及各種控制。 這加強(qiáng)了防止污染的保障，并避免損壞由靜電引起的樣品，從而有利于單產(chǎn)提高。

 固定位置的XY控制 

 XY精運(yùn)動(dòng)控制仍然接近運(yùn)營(yíng)商在相同的位置，使其不必要的運(yùn)營(yíng)商，以延長(zhǎng)他或她的手臂，移動(dòng)舞臺(tái)。 因?yàn)橐苿?dòng)的標(biāo)本和重點(diǎn)，可以進(jìn)行一個(gè)手?jǐn)R在桌子上，操作者可以重點(diǎn)觀察。

 簡(jiǎn)單的訪問(wèn)控制 

主要控制旋鈕和按鈕都位于前面的基礎(chǔ)，允許快速，操作簡(jiǎn)便，同時(shí)觀看樣品，并盡量減少在漫長(zhǎng)的觀測(cè)疲勞。

 對(duì)焦目標(biāo) 

重點(diǎn)目標(biāo)輕松地移動(dòng)和光路允許在低對(duì)比度的樣品，如裸晶圓容易對(duì)焦。

詳情點(diǎn)擊：http://www.nikon-microscope.com/Products-31093309.html
http://www.chem17.com/st398326/erlist_1781801.html

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