這是柱塞水泵的高壓端。水平的是柱塞，垂直的是進水單向閥和出水單向閥。
后面還有一套驅(qū)動部分，也就是曲軸連桿沒有畫。
這個不是典型的液壓領(lǐng)域的油泵，不能叫軸向柱塞泵，產(chǎn)品通常叫三柱塞
水泵或者柱塞式超高壓水泵，當(dāng)然也可以打油。
一：真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，
包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。
主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
二：真空鍍膜機有三個泵的：機械泵（一般是油旋轉(zhuǎn)泵），增壓泵又叫羅茨泵
，高真空泵（擴散泵或者分子泵）
機械泵
是從大氣開始工作的，機械泵排氣的效果還與電機的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系，
當(dāng)電機的皮帶比較松，電機轉(zhuǎn)速很慢的時候，機械泵的排氣效果也會變差，
所以要經(jīng)常保養(yǎng)，點檢，機械泵油的密封效果也需要常常點檢，油過少，
達不到密封效果，泵內(nèi)會漏氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，
一般，在油位在線下0.5厘米即可。
增壓泵：
它是具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子的機械泵，
由于它的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相同，所以又可以叫羅茨真空泵，
此泵在100-1帕壓強范圍內(nèi)有較大的抽氣速度，它彌補了機械泵在此范圍內(nèi)排氣能力不足的缺點，
此泵不能從大氣開始工作，也不能直接排出大氣，它的作用僅僅是增加進氣口和排氣口之間的壓差，
其余的則需要機械泵來完成，因此，它必須配以機械泵作為前級泵。
油擴散泵：機械泵的極限真空只有10-2帕，當(dāng)達到10-1帕的時候，實際抽速只有理論的1/10，
如果要獲得高真空的話，必須采用油擴散泵。
油擴散泵
應(yīng)用壓強范圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現(xiàn)象來排氣的，
它具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等特點。
油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成，里面主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），
根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。當(dāng)擴散泵的油被電爐加熱時，產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強，
機械泵充當(dāng)前置泵。當(dāng)擴散泵油被電爐加熱時，產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。
因噴嘴外面有機械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，
構(gòu)成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結(jié)為液體，
流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié)，重復(fù)循環(huán)來實現(xiàn)抽氣的。
操作程序
真空鍍膜機操作程序具體操作時請參照該設(shè)備說明書
和設(shè)備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標(biāo)注說明。
① 檢查真空鍍膜機各操作控制開關(guān)是否在"關(guān)"位置。
② 打開總電源開關(guān)，設(shè)備送電。
③ 低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，鐘罩升起。
④ 安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動圓盤上。
把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無任何雜質(zhì)污物。
⑤ 落下鐘罩。
⑥ 啟動抽真空機械泵。
⑦ 開復(fù)合真空計電源(復(fù)合真空計型號:Fzh-1A)。
a.左旋鈕"1"順時針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置。
b.低真空表"2"內(nèi)指針順時針移動，當(dāng)指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。
⑧ 當(dāng)?shù)驼婵毡?2"內(nèi)指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。
⑨ 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。
⑩ 低壓閥拉出。重復(fù)一次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。
低真空表"2"內(nèi)指針順時針移動，當(dāng)指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥桿順時針旋轉(zhuǎn))。
? 等低真空表"2"內(nèi)指針右移動至0.1Pa時，開規(guī)管燈絲開關(guān)。
a. 發(fā)射、零點測量鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向發(fā)射位置。
b. 左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。
? 旋轉(zhuǎn)發(fā)射調(diào)節(jié)鈕"4"，使高壓真空表"5"內(nèi)指針指向5。
? 發(fā)射、零點、測量旋鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向零點位置。
? 旋轉(zhuǎn)零點調(diào)節(jié)鈕"10"，讓高壓真空表"5"內(nèi)指針指向0位置。
? 發(fā)射、零點、測量旋鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向測量位置。
? 旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)調(diào)節(jié)鈕"3"，讓高壓真空表"5"內(nèi)指針指向10。
? 旋轉(zhuǎn)"倍加器"開關(guān)鈕"8"至指向10-12，當(dāng)高壓真空表"5"內(nèi)指針逆時針左移超過1時，
再把"倍加器"開關(guān)旋鈕"8"旋轉(zhuǎn)至指向10-3。
? 當(dāng)高壓真空表"5"內(nèi)指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉(zhuǎn)鈕開關(guān)，鐘罩內(nèi)被鍍件PVDF膜轉(zhuǎn)動。
? 開蒸發(fā)鈕開關(guān)。把電流分插塞插入蒸發(fā)電極分配孔內(nèi)(設(shè)有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。
? 右手旋轉(zhuǎn)右側(cè)調(diào)壓器手輪，慢慢旋轉(zhuǎn)升壓。
a. 從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。
b. 當(dāng)鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。
c. 鋁絲全部熔化蒸發(fā)，擋板回原位。
d. 右手旋轉(zhuǎn)調(diào)壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。
21. 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔
。重復(fù)?操作動作。
22. 關(guān)閉規(guī)管燈絲開關(guān)。關(guān)閉高壓閥(逆時針轉(zhuǎn)手柄)。關(guān)閉工件旋轉(zhuǎn)。關(guān)閉蒸發(fā)。
旋轉(zhuǎn)機械泵鈕至指向擴散泵位置。
23. 低壓閥拉出。鐘罩充氣。充氣一段時間，當(dāng)沒有氣.聲時，升鐘罩。
24. 鎢螺旋加熱子內(nèi)加鋁絲。PVDF薄膜調(diào)換另一面向下 (原下面已鍍一層鋁膜面向上)。緊固在轉(zhuǎn)動圓盤上。
25. 落鐘罩。開機械泵。
a. 左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。
b. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?2"內(nèi)指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。
c. 左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。
d. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?2"內(nèi)指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。
e. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?2"內(nèi)指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規(guī)管燈絲。
f. 由?開始重復(fù)操作至? 。
26. PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后，按順序關(guān)閉規(guī)管燈絲、高壓閥、機械泵、擴散泵。
把低壓閥拉出。鐘罩充氣，充氣完畢后升鐘罩。取出工件，做好鐘罩內(nèi)清理工作。
a. 落下鐘罩。
b. 開機械泵，抽3~5min，停機械泵。
c. 切斷供電總開關(guān)。
d. 1h后再關(guān)閉冷卻水。操作全部完成。
27. 正常生產(chǎn)中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，
關(guān)閉規(guī)管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電后，先讓機械泵啟動工作3~5min后，
再轉(zhuǎn)入正常生產(chǎn)。它的原理是將擴散泵油加熱至沸騰，氣化的油霧通過噴油嘴向四周噴射，
擴散泵的四周有冷卻水管或者水套，將噴射的油霧冷卻液化流下至泵的底部循環(huán)。
如果上半部分熱的話說明冷卻不好，會向真空室返油，那就是不正常的現(xiàn)象了，
說明冷卻不好，原因可能是水壓不夠或者水管內(nèi)有阻塞。
變量柱塞泵壓力補償控制A
V8A1RX-20,V15A4RX-95,V15A3RX-95,V15A2RX-95,
V23A4RX-30,V23A3RX-30,V23A2RX-30,V23A1RX-30,
V38A4RX-95,V38A3RX-95,V38A2RX-95,V38A1RX-95,
V50A3RX-20,V50A2RX-20,V50A1RX-20,
V70A3RX-60,V70A2RX-60,V70A1RX-60,
變量柱塞泵復(fù)合壓力控制D
V15D12RAX-95,V15D12RBX-95,V15D12RPX-95,V15D12RNX-95.
V23D12RAX-35,V23D12RBX-35,V23D12RPX-35,V23D12RNX-35.
V38D12RAX-95,V38D12RBX-95,V38D12RPX-95,V38D12RNX-95.
變量柱塞泵壓力補償控制A(后方油口)
V15A3R-95,V15A2R-95,V15A1R-95,V8A1R-20,
V23A3R-30,V23A2R-30,V23A1R-30,V23A4R-30,
V38A3R-95,V38A2R-95,V38A1R-95,V38A4R-95,
V50A3R-20,V50A2R-20,V50A1R-20,
V70A3R-60,V70A2R-60,V70A1R-60,
變量柱塞泵復(fù)合壓力控制D(后方油口)
V15D12RA-95,V15D12RB-95,V15D12RP-95,V15D12RN-95.
V23D12RA-35,V23D12RB-35,V23D12RP-35,V23D12RN-35.
V38D12RA-95,V38D12RB-95,V38D12RP-95,V38D12RN-95.
DAIKIN大金柱塞泵VZ100系列的型號發(fā)布
VZ100A3RX-10 VZ100A4RX-10 VZ100A4RX-10RC VZ100C11RHX-10
VZ100C12RHX-10 VZ100C13RHX-10 VZ100C14RHX-10 VZ100C22RHX-10
VZ100C12RJAX-10 VZ100C12RJBX-10 VZ100C12RJPX-10 VZ100C13RJAX-10
VZ100C23RJAX-10 VZ100C23RJBX-10 VZ100C23RJPX-10 VZ100C24RJAX-10
VZ100C24RJBX-10 VZ100C24RJPX-10 VZ100C33RJAX-10 VZ100C33RJBX-10
VZ100C34RJPX-10 VZ100C44RJAX-10 VZ100C44RJBX-10 VZ100C44RJPX-10
PVS變量柱塞泵
PVS-0B-8N3-30,PVS-0B-8N2-30,PVS-0B-8N1-30,PVS-0B-8N0-30,
PVS-1B-16N3-12,PVS-1B-16N2-12,PVS-1B-16N1-12,PVS-1B-16N0-12,
PVS-1B-22N3-12,PVS-1B-22N2-12,PVS-1B-22N1-12,PVS-1B-22N0-12,
PVS-2B-35N3-12,PVS-2B-35N2-12,PVS-2B-35N1-12,PVS-2B-35N0-12,
PVS-2B-45N3-20,PVS-2B-45N2-12,PVS-2B-45N1-12,PVS-2B-45N0-12,
PZS變量柱塞泵
PZS-3B-70N4-10,PZS-3B-70N3-10,PZS-3B-70N1-10,
PZS-4B-100N4-10,PZS-4B-100N3-10,PZS-4B-100N1-10,
PZS-5B-130N4-10,PZS-5B-130N3-10,PZS-5B-130N1-10,
PZS-6B-180N4-10,PZS-6B-180N3-10,PZS-6B-180N1-10,
PZS-6B-220N4-10,PZS-6B-220N3-10,PZS-6B-220N1-10,
PZ負荷感應(yīng)變量柱塞泵
PZ-2B-35E3A-11,PZ-2B-35E2A-11,PZ-2B-35E1A-11,
PZ-2B-45E3A-11,PZ-2B-45E2A-11,PZ-2B-45E1A-11,
PZ-3B-70E3A-10,PZ-3B-70E2A-10,PZ-3B-70E1A-10,
PZ-4B-100E3A-10,PZ-4B-100E2A-10,PZ-4B-100E1A-10,
PZ-5B-130E3A-10,PZ-5B-130E2A-10,PZ-5B-130E1A-10,
PZ-6B-180E3A-20,PZ-6B-180E2A-20,PZ-6B-180E1A-20,
PZ-6B-220E3A-20,PZ-6B-220E2A-20,PZ-6B-220E1A-20,
VDC葉片泵
VDC-1A-1A2-20,VDC-1A-1A3-20,VDC-1A-1A4-20,VDC-1A-1A5-20,
VDC-1A-2A2-20,VDC-1A-2A3-20,
VDC-2A-1A2-20,VDC-2A-1A3-20,VDC-2A-1A4-20,VDC-2A-1A5-20,
VDC-2A-2A2-20,VDC-2A-2A3-20,
VDC-3A-1A2-20,VDC-3A-1A3-20,VDC-3A-1A4-20,VDC-3A-1A5-20,
VDC-1B-1A2-20,VDC-1B-1A3-20,VDC-1B-1A4-20,VDC-1B-1A5-20,
VDC-1B-2A2-20,VDC-1B-2A3-20,
VDC-2B-1A2-20,VDC-2B-1A3-20,VDC-2B-1A4-20,VDC-2B-1A5-20,
VDC-2B-2A2-20,VDC-2B-2A3-20,
VDC-3B-1A2-20,VDC-3B-1A3-20,VDC-3B-1A4-20,VDC-3B-1A5-20,
VDC雙聯(lián)葉片泵
VDC-11A-2A3-2A3-20,VDC-11A-2A3-1A5-20,
VDC-12A-2A3-2A3-20,VDC-12A-2A3-1A5-20,
VDC-12A-1A5-2A3-20,VDC-12A-1A5-1A5-20,
VDC-22A-2A3-2A3-20,VDC-22A-2A3-1A5-20,
VDC-13A-2A3-1A3-20,VDC-13A-2A3-1A5-20,
VDC-13A-1A5-1A3-20,VDC-13A-1A5-1A5-20,
VDC-11B-2A3-2A3-20,VDC-11B-2A3-1A5-20,
VDC-12B-2A3-2A3-20,VDC-12B-2A3-1A5-20,
VDC-12B-1A5-2A3-20,VDC-12B-1A5-1A5-20,
VDC-22B-2A3-2A3-20,VDC-22B-2A3-1A5-20,
VDC-13B-2A3-1A3-20,VDC-13B-2A3-1A5-20,
VDC-13B-1A5-1A3-20,VDC-13B-1A5-1A5-20,
VDR（13）葉片泵
VDR-1A-1A1-13,VDR-1A-1A2-13,VDR-1A-1A3-13,
VDR-2A-1A1-13,VDR-2A-1A2-13,VDR-2A-1A3-13,
VDR-1B-1A1-13,VDR-1B-1A2-13,VDR-1B-1A3-13,
VDR-2B-1A1-13,VDR-2B-1A2-13,VDR-2B-1A3-13,
VDR（13）雙聯(lián)葉片泵
VDR-11A-1A1-1A1-13,VDR-11A-1A1-1A2-13,VDR-11A-1A1-1A3-13,
VDR-11A-1A2-1A2-13,VDR-11A-1A3-1A3-13,
VDR-11B-1A1-1A1-13,VDR-11B-1A1-1A2-13,VDR-11B-1A1-1A3-13,
VDR-11B-1A2-1A2-13,VDR-11B-1A3-1A3-13,
VDR（22）葉片泵
VDR-1A-1A2-22,VDR-1A-1A3-22,VDR-1A-1A4-22,VDR-1A-1A5-22,
VDR-1A-2A2-22,VDR-1A-2A3-22,
VDR-1B-1A2-22,VDR-1B-1A3-22,VDR-1B-1A4-22,VDR-1B-1A5-22,
VDR-1B-2A2-22,VDR-1B-2A3-22,
VDR（22）雙聯(lián)葉片泵
VDR-11A-1A2-1A2-22,VDR-11A-1A2-1A3-22,VDR-11A-1A3-1A3-22,
VDR-11A-2A2-2A2-22,VDR-11A-2A2-2A3-22,VDR-11A-2A3-2A3-22,
VDR-11B-1A2-1A2-22,VDR-11B-1A2-1A3-22,VDR-11B-1A3-1A3-22,
VDR-11B-2A2-2A2-22,VDR-11B-2A2-2A3-22,VDR-11B-2A3-2A3-22,
VDS葉片泵
VDS-0A-1A1-10,VDS-0A-1A2-10,VDS-0A-1A3-10,
VDS-0B-1A1-10,VDS-0B-1A2-10,VDS-0B-1A3-10,
IPH齒輪泵
IPH-2A-3.5-11,IPH-2A-5-11,IPH-2A-6.5-11,IPH-2A-8-11,
IPH-2B-3.5-11,IPH-2B-5-11,IPH-2B-6.5-11,IPH-2B-8-11,
IPH-3A-10-20,IPH-3A-13-20,IPH-3A-16-20,
IPH-3B-10-20,IPH-3B-13-20,IPH-3B-16-20,
IPH-4A-20-20,IPH-4A-25-20,IPH-4A-32-20,
IPH-4B-20-20,IPH-4B-25-20,IPH-4B-32-20,
IPH-5A-40-21,IPH-5A-50-21,IPH-5A-64-21,
IPH-5B-40-11,IPH-5B-50-11,IPH-5B-64-11,
IPH-6A-80-21,IPH-6A-100-21,IPH-6A-125-21,
IPH-6B-80-11,IPH-6B-100-11,IPH-6B-125-11,
IPH齒輪泵組合型
IPH-22B,IPH-23B,IPH-24B,IPH-25B,IPH-26B,
IPH-33B,IPH-34B,IPH-35B,IPH-36B,
IPH-44B,IPH-45B,IPH-46B,
IPH-55B,IPH-56B,
IPH-66B,
IPH-22B-3.5-3.5-11,IPH-22B-3.5-5-11,IPH-22B-3.5-6.5-11,IPH-22B-3.5-8-11,
IPH-22B-5-5-11,IPH-22B-5-6.5-11,IPH-22B-5-8-11,
IPH-22B-6.5-6.5-11,IPH-22B-6.5-8-11,
IPH-22B-8-8-11,
IPH-23B-3.5-10-11,IPH-23B-3.5-13-11,IPH-23B-3.5-16-11,
IPH-23B-5-10-11,IPH-23B-5-13-11,IPH-23B-5-16-11,
IPH-23B-6.5-10-11,IPH-23B-6.5-13-11,IPH-23B-6.5-16-11,
IPH-23B-8-10-11,IPH-23B-8-13-11,IPH-23B-8-16-11,
IPH-24B-3.5-20-11,IPH-24B-3.5-25-11,IPH-24B-3.5-32-11,
IPH-24B-5-20-11,IPH-24B-5-25-11,IPH-24B-5-32-11,
IPH-24B-6.5-20-11,IPH-24B-6.5-25-11,IPH-24B-6.5-32-11,
IPH-24B-8-20-11,IPH-24B-8-25-11,IPH-24B-8-32-11,
IPH-25B-3.5-40-11,IPH-25B-3.5-50-11,IPH-25B-3.5-64-11,
IPH-25B-5-40-11,IPH-25B-5-50-11,IPH-25B-5-64-11,
IPH-25B-6.5-40-11,IPH-25B-6.5-50-11,IPH-25B-6.5-64-11,
IPH-25B-8-40-11,IPH-25B-8-50-11,IPH-25B-8-64-11,
IPH-26B-3.5-80-11,IPH-26B-3.5-100-11,IPH-26B-3.5-125-11,
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