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空氣過濾器的迅速發展是與軍事工業和電子工業的發展緊密相關的。在第一次世界大戰期間，由于各種化學毒劑的使用，以石棉纖維過濾紙作為濾煙層的軍用防毒面具應運而生。玻璃纖維過濾介質用于空氣過濾于1940年10月在美國取得專利。50年代，美國對玻璃纖維過濾紙的生產工藝進行了深入的研究，使空氣過濾器得到了改善和發展。60年代，HEPA過濾器問世；70年代，采用微細玻璃纖維過濾紙作為過濾介質的HEPA過濾器，對013微米粒徑的粒子過濾效率高達99.9998%。八十年代以來，隨著新的測試方法的出現、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高，發現HEPA過濾器存在著嚴重的問題，于是又產生了性能更高的ULPA過濾器。各國仍在努力研究，估計不久就會出現更先進的空氣過濾器。