春日KASUGA 真空對應靜電電位傳感器 KS-3101
真空對應靜電電位傳感器（KS-3101）
由于真空中緩和靜電的氣體成分稀薄，靜電成為比大氣壓環境更嚴重的生產障礙的原因。
真空對應靜電電位傳感器是使用能承受真空環境的使用的材料和部件，在真空內產生的靜電的測定能使用的傳感器。請用于確定真空工序中靜電的產生原因和連續監視靜電電位。
規格
型號 KS-3101
檢測方式 振動型表面電位傳感器
使用推薦真空度 10 5Pa（大氣壓）、10-1～10-5Pa
測量范圍
HIGH范圍：0～±20.0kV（測量距離100mm）
LOW范圍：0～±2000V（測量距離10mm）
測量精度 ±10%以內
警報 檢測傳感器故障LED顯示
使用環境 溫度0~40℃、濕度65%以下（無結露）
質量 約130g（電纜，不含控制箱）
構成必需品
真空電纜：KS-3101-C01（電纜長度1m、可延長）
控制框：KS-3101-B05（大氣側電纜5M付，可延長）
控制器：KSD-0110
