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意大利BDiscom射頻電源S-AMX/S-AMN實物單賣

在以往的蝕刻和沉積等離子體電源實施方案中，雖然圍繞射頻功率源和匹配網絡進行構建，但是僅將射頻發生器用于監控和記錄輸送至等離子體腔的功率的基準。但是，這種方法可能會帶來若干問題 – 為了實現更精準、更高水平的功率控制，這些問題甚至會成為新的挑戰，其中包括功率波動、溫度和配方組合的影響、因功率源與工具之間的距離造成的問題、功率輸送的微調能力。

例如，如果功率源與應用點有一定距離，則可能存在較大的插入損耗，從而影響實際提供的功率。理論上，應計算出該損耗并相應調節功率源設置。但實際上，由于特定系統設置，插入損耗不一定表現為線性方式；并且功率等級越高，越難以估算。

另外，如果使用的是舊發生器，工藝可能會因量化誤差而受到影響，即功率命令系統提供給用戶的固定步進功率不一定匹配腔體所需的精準的功率輸送。

上述因素正是半導體制造商致力于采用校準設備的原因 , 為了精準監控等離子體電源。很明顯，過去幾十年的傳統功率傳感技術越來越難以提供最新工藝所需的功能（頻段或功率范圍、準確度等級或認證）。因此，我們迫切需要新一代更精準的高度集成射頻功率測量和校準系統。

SICK   IME08-02BNSZW2K
Balluff  BTL7-S577-M0360-B-KA05
Danfoss 3241-1DB04
AI-TEK  70085-1010-131
Balluff   BTL7-V50T-M0300-B-C003
POCLAIN  MS08-2-111-F09-2A50-1E00
 HENGSTLER  0547897
EUCHNER    門鎖開關TZIRE024PG VAB升級為TZ1RE024MVAB
IFM   IIC208
Euchner  NO1R-550型（帶滾輪）無感應式限位開關
IPF   接近開關IN800151
Rexroth  TYP:A4FM22/32W-NSC02
MOOG  D634U524A/R40K2F0NSS2
DESTACO   8EA-030-1
IPF    傳感器 IB1201T1
DOLD  LG5925 48/61-Not-Aus-Modu-Emergency-stop module .A1(+)A2 AC/DC 24V -常開AC15/230V/3A-常閉AC15/230V/2A
STI    DT-S01S1S0
RHM1430MK101S1B8100
BUCHER    減壓閥SDRB-AR-6-SL  10-65 BAR
SUN    MBGALHN-HCY/S
IFM     光電開關IF-3004-APKG/6m 報價型號IF5350
BD  壓力傳感器DMP331-111-2001-1-3-100-300-1-000
Sampo  BB4040801110馬達
RHM0500MK101S1B8100
Rittal   加熱器SK 3105.340
HYDAC   壓力開關EDS3446- 3-0250-000  帶配套電纜2米及插頭
BAUER    電機BG30-37/DHE09XA4C-TOF-K/BR-UL-TM
ASCO  SCE238D005 220V
RHM1160OMK021S1G6100
DEMAG        進口力矩電動機 SBS 140 B4 18N·m 380V
Honeywell  DC1020PL-302000-C
Rexroth  R900580381 PV7-1A/10-14RE01MC0-16
 PIZZATO pulsSLR10輸出：24vdc/10A
MTS   RFM02750MR021A01我們的型號：ZHRX2750SEC3-GF21DZ
ALLWEILER   油泵NTT150-400/02U5A-W4
RELECO   繼電器底座S9-M
Rittal  母牌接線器SV3456.500
RHM1720MK021S1G6100
TWK 電子式接觸器ER40-24DC-300DC-A03/24VDC
KNOLL科諾  過濾紙PW70/70-710
DESTACO迪斯泰克   8EA-123-1 感應器
TWK  SWH2-01+CRF58*V146*C01
SICK  障礙物傳感器TIM320-1031000
PIZZTO  FD1878
RELECO    S9-M
ECKARDT   定位器SRD991-BHNS7EA4NR-V01
Honeywell RA890G1229
parker    閥026-95689-H    R5V12  695 36 09G0Q A1 210
MOOG    G771K202A
VERSA  EZM-3143-4-Z-HC-110V50-120V60
MTS RHM0150MP021S1G8100  160mm 要求精度0.0001mm
KROM   GIK 15R02-5BZ
DUNGS  煤氣電磁閥-MVD 215/5 RP11/2 60VA
RHM0610MP101S1G8100
RHM1800MP101S1G6100
ASCO   8210G034  24VDC
RHM1330MP101S1G8100
SOR  205A-A1B-B-B4-N4-ET
EGE   風壓開關STS215S   31308
AMISCO  EVI7/9電磁閥線圈
PILZ   PNOZ s4 C 24VDC 3 n/o 1 n/c
VICKERS  C16H220/19
SOLARTRON  AS/100/G
ABB  變頻器ACS880-01-145A-3+D150
Kobold   流量開關VKM3211RRR250B  24VDC
HYDAC    壓力控制器EDS3446-3-0250-000   250bar DC24V
NORIS  10732 RF502-A2-#7000
GEMU   氣動閥690-32D 71 412/N
德國Krom schroder    點火控制器 BCU480-5/3/1LW3GBD2  已停產，升級型號 88610638 BCU480-5/3/1LW3GBD2
CEAG   CEAG GHG 591 2201 R0003報價型號 GHG5912201R0003 Ex-Plug for Zone 1/21, 10, 21-pole 250 V, 7 h, 1 cable gland
STAHL   接觸器8510/141-03-603-210   6A  24VDC升級為8510/141-03-606-210, Mat. 145751
Dynisco  TPT4634-35MPA-6/18
burkert   電磁閥訂貨號：00134345已經停產了 221871
MTS  RHM0450MP101S1G6100
DOLD  訂貨號0063989 BG5924.48 24VDC
MTS  位移傳感器
Burster  壓力傳感器8524-5500-S000S000
Rexroth力士樂   HMS01.1N-W0054-A-07-NNNN 驅動模塊報價訂貨號R911295325，請跟用戶核實，如果訂貨號不對，價格作廢
Danfoss丹佛斯 FC360變頻器0. .55KW FC360HK55T4E20H2BXCDXXSXXXXAOBX
MTS   EPS0270MD601AO
MTS  RPM1500MD601A01磁環
HYDAC  WSM60020Z-01-C-N-24DG
SCHENCK   測速傳感器 FGA 20 RSLE
Rexroth   疊加式溢流閥Z2DB10VD2-4X/200
RHM0280MK101S1B8100
WOERNER     液位開關KFA-A/F/0/N/056C/Z3N/250
SICK   光電開關WF2-40B410
SCANCON   旋轉編碼器SAG-S101G-1213-C100-CRW 電壓范圍：24V停產替代為31993 OCD-S1-01-G-12-13-C-100-CRW
HYDAC   6051764/100LA4/B34C200
Lika  編碼器SMSR-V-1-K-L0,3/S727
Weidmuller   繼電器RCL424024
Krom 點火控制器 TGI7.5-12/100W 230VAC
HYDAC   聯軸節KUPPLUNG28/38-38/24
Dynisco          TPT463E-35MPA-6-18-TC2
LINCOLN林肯   超聲波液位傳感器 BPU1-V375-L800-200
OPRU  ORCUT ES 120-MBV
MAC  電磁閥MAC 55B-24-PE-614JB PED-614JB
Hanovia  130027-2001-C
 PIZZATO pulsdimensionUB10.241DC-UPS