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HCL氣體質(zhì)量流量控制器  ALICAT耐腐蝕性氣體質(zhì)量流量控制器 艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專用設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)端對(duì)端的匹配連接。

MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動(dòng)截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點(diǎn)為零時(shí)出現(xiàn)污染情況。

• 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
• 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。

HCL氣體質(zhì)量流量控制器  ALICAT耐腐蝕性氣體質(zhì)量流量控制器配件（需另行訂購(gòu)）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
• Flow Vision軟件