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| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時關(guān)閉） | ||
| 目標氣體（* 1） |
多氣體： N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） |
||
| 流量范圍（* 3） | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） | ||
| 控制范圍 | 2至100％（F.S.） | ||
| 反應(yīng)能力（* 4） | 總流量控制范圍在1秒內(nèi)（±2％F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 5） |
±1.0％SP（> 35％F。S.）， ±0.35％F。S.（≦35％F。S.） |
||
| 再現(xiàn)性 | ±0.25％FS | ||
| 工作壓差（* 6） | 50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa） | ||
| 入口壓力 | 500kPa（G） | ||
| 耐壓 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 7） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 |
