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日本橫河YOKOGAWA OX400低濃度氧化鋯氧分析儀
橫河電機最新推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術的長期經驗積累和優秀業績基礎上研發出來的。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積專利技術，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯接。這樣不僅預防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應和長壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監視各種半導體應用，并控制環境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。
>>特性
使用壽命長，響應速度快
高性能和高可靠性
內置功能和多種自診斷功能
出眾的維護性
>>規格
| 測量對象 | 惰性氣體中的氧氣濃度 (易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外) | ||||||||
| 測量系統 | 氧化鋯系統 | ||||||||
| 采樣方法 | 泵式，抽提式等 | ||||||||
| 樣氣條件 | 流速: 200 ± 25ml/min(僅用于傳感器) 溫度: 0~50℃(無結露) 濕度: 無結露 壓力: 0~300PaG 最大容許壓力: 30kPaG | ||||||||
| 測量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 | ||||||||
| 輸出量程 |
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| 模擬輸出 | 2路輸出， 一次: 4～20mA DC(最大負載電阻: 550Ω) 二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC(負載電阻: 10kΩ或更大) | ||||||||
| 接點輸出 |
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| 接點輸入 | 1點: 采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF | ||||||||
| 自診斷 |
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| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||||||
| 標定方法 | (1)3點: 10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點: 可設定為零點氣和量程氣標定，(3)1點，(4)空氣標定 | ||||||||
| 暖機時間 | 20分以內 | ||||||||
| 電源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz | ||||||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大 | ||||||||
| 尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm | ||||||||
| 質量 | 約5kg | ||||||||
| 管線連接 | 氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋 氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋 | ||||||||
| 環境條件 |
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| 符合的安全標準 和EMC標準 |
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| 重復性 | ±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%) |
| 線性 | ±2%F.S. ±3%F.S.(0~100ppm或更低) |
| 響應時間 | 90%響應 10秒內(0~1%或更高) 30秒內(小于0~1%) |
| 漂移 | ±2%F.S./周 |
| 型號 | 后綴代碼 | 選項代碼 | 描述 | ||||
| OX400 | 低濃度氧分析儀 | ||||||
| 電源(說明1) | -5 | 100-120VAC，50/60Hz | |||||
| -3 | 220-240VAC，50/60Hz | ||||||
| 采樣方法 | -P | 泵式 | |||||
| -A | 抽提式 | ||||||
| -N | 無抽氣設備 | ||||||
| 氣體接口 | -R | Rc 1/4 | |||||
| -T | 1/4 NPT | ||||||
| 用戶手冊 | -J | 日語版 | |||||
| -E | 英語版 | ||||||
| 電纜（說明1） | -D | UL/CSA電纜（2M） | |||||
| -F | VDE電纜（2.5M） | ||||||
| -H | GB電纜（2.5M） | ||||||
| -Q | BS電纜（2M） | ||||||
| -R | SAA電纜（2.5M） | ||||||
| 可選項 | 安裝硬件 | /P | 盤裝 | ||||
| 多選擇器功能 | /MS | 多選擇器功能 | |||||
| 過濾器 | /F | 活性碳過濾器（說明2） | |||||
OX400-3-P-R-E-F/P OX400-3-A-R-E-F/P OX400-3-N-R-E-F/P OX400-3-P-T-E-F/P OX400-3-A-T-E-F/P
OX400-3-N-T-E-F/P OX400-3-P-R-E-H/P OX400-3-A-R-E-H/P OX400-3-N-R-E-H/P OX400-3-P-T-E-H/P
OX400-3-A-T-E-H/P OX400-3-N-T-E-H/P OX400-3-P-R-E-Q/P OX400-3-A-R-E-Q/P OX400-3-N-R-E-Q/P OX400-3-P-T-E-Q/P OX400-3-A-T-E-Q/P OX400-3-N-T-E-Q/P OX400-3-P-R-E-R/P
OX400-3-A-R-E-R/P OX400-3-N-R-E-R/P OX400-3-P-T-E-R/P OX400-3-A-T-E-R/P
