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超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分，反滲透主機(jī)部分，后處理部分共同組成。
1、預(yù)處理由石英砂過(guò)濾器、活性碳過(guò)濾器、精密過(guò)濾器組成，也可選用超濾系統(tǒng)作為預(yù)處理，但通常工程造價(jià)要高。預(yù)處理主要目的是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物、色度、異味等。
2、反滲透主機(jī)主要由高壓泵、膜殼、反滲透膜元件，在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數(shù)量及泵的型號(hào)選型得當(dāng)，反滲透主機(jī)脫鹽率及產(chǎn)水量都能達(dá)到額定指標(biāo)，出水電導(dǎo)率可保證在≤10us以下，(原水電導(dǎo)率小于500us/cm,工作溫度：1～40℃)
3、后處理部分是對(duì)反滲透制取的純水作進(jìn)一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備，根據(jù)客戶要求，出水阻率可達(dá)到15MΩ.CM
