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根據亨利定律，氣體在水中的溶解度與水溫和壓力相關，在一定溫度下,與氣體的壓力成正比。在一定的壓力下，水溫降低,氣體溶解度增加，水溫升高，氣體溶解度降低。當降低水面的壓力，則可在較低水溫下，使溶于水中的氣體析出，從而除去水中的氣體。真空脫氣（脫氧）機就是通過在機器中產生真空，將水中的游離氣和溶解氣釋放出來，再通過自動排氣閥排出系統，脫氣后的水再注入系統，該循環周期為20~30秒鐘。如此循環往復，將系統水中的所有氣體脫除。