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上架日期： 2025年8月29日瀏覽量： 62次

HMDS預(yù)處理真空烘箱

產(chǎn)品價格：￥（人民幣）

規(guī)格：HMDS-90

發(fā)貨地：本地至全國

品牌：

最小起訂量：1臺

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蘇州伊諾華科工業(yè)設(shè)備有限公司

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商品詳情

HMDS烘箱，晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理，增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對晶片進行預(yù)處理，集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空，充氮加熱循環(huán)進行，既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴散，并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復(fù)性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對人體無害的顯著優(yōu)點；也可用于晶片其它工藝的清洗。

設(shè)備型號	HMDS-90
溫度范圍	RT+25~200°C
溫度分辨率	±0.1°C
極限真空度	＜10pa
抽氣速率	4L/S 常壓~100pa時間＜5min
氧含量	＜10ppm
潔凈度	class10
控制方式	PLC+觸摸屏（人機交互界面）
內(nèi)腔尺寸	W450mmD450mmH450mm
氮氣流量	0-100L/min
電源功耗	AC220V 50HZ 4.5KW
箱體	3mm優(yōu)質(zhì)SUS316#潔凈不銹鋼內(nèi)膽
外殼	SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆
保溫材料	環(huán)保無油型陶瓷纖維防火阻燃材料
安全保護措施	1.接地保護 2.過載保護 3.超溫保護