商鋪名稱：合肥高歌熱處理應(yīng)用技術(shù)有限公司
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聯(lián)系地址：合肥雙鳳高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園鳳儀路48號(hào)
郵編：231131
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應(yīng)用領(lǐng)域
GKS系列擴(kuò)散爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的擴(kuò)散、氧化工藝，同時(shí)也用于石英制品的退火、稀有金屬粉末和發(fā)光材料的煅燒等工藝。
主要特點(diǎn)
* 采用高純石英管作為內(nèi)爐膛，具有優(yōu)良的潔凈度。
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào)： |
GKS(D)-09/90/3 |
GKS(D)-18/110/3 |
GKS(S)-09/90/3 |
GKS(S)-18/110/3 |
最高溫度： |
1050℃ |
1050℃ |
1050℃ |
1050℃ |
使用溫度： |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
控制精度： |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
溫區(qū)個(gè)數(shù)： |
3個(gè) |
3個(gè) |
6個(gè) |
6個(gè) |
爐管材質(zhì)： |
高純石英 |
高純石英 |
高純石英 |
高純石英 |
發(fā)熱元件： |
Kanthal電阻絲 |
Kanthal電阻絲 |
Kanthal電阻絲 |
Kanthal電阻絲 |
加熱區(qū)長度： |
900mm |
1100mm |
900mm |
1100mm |
爐管尺寸： |
Ф90×1800 |
Ф180×2100 |
Ф90×1800 |
Ф180×2100 |
加熱功率： |
7.5Kw |
15Kw |
15Kw |
30Kw |
