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殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘余氣體成分. 最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設計保證最佳兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計, 方便測量壓力
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:
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型號 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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檢測器 |
法拉第 Faraday (F) |
電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
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質量數 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四極桿直徑／長度 |
6 /125 mm |
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最小檢測極限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小檢測極限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最大工作壓力 F hPa |
5X10-4 |
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最大工作壓力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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對臨近質量數的影響*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作溫度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作溫度 電子 |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度 分析 |
300 °C |
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連接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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保壓時間 |
1 ms – 16 s/amu |
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重量 |
2.5 kg |
3.2 kg |
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* 1 開放式離子源,
* 2 停留時間 4秒
*3 與C-SEM相比, 具有較高的靈敏度
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:
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