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系統會依次測試圖案化晶圓的各個部分--進行測量，然后推進并對齊晶圓，以將個區域放置在測量下方，快速移動和穩定定位的挑戰在于慣性會導致負載移動指令的過沖和振蕩(考慮到高加速度和小增量)，這可能會引入測量錯誤或減慢測量過程。
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因此，系統集成商和設備制造商特別容易根據各自的吞吐量規格實施輸送機設置，新平臺的模塊化設計減少了生產和交付，此外，由于安裝和維護期間提供的優勢，新一代電動滾筒作為即插即用設置脫穎而出，這意味著可以使用簡單的插入式連接來建立電源。
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伺服驅動器啟動就停機原因
1、電源電壓不穩定：當電源電壓波動較大時，可能導致伺服驅動器無法正常工作，出現過壓或欠壓故障，從而啟動后立即停機。
2、電源故障：電源插頭松動、損壞或電源開關未打開，以及電源線路老化或損壞，都可能導致伺服驅動器無法啟動或啟動后立即停機。
3、控制信號異常：伺服驅動器接收到的控制信號不正確或受到干擾，可能導致驅動器無法正常工作，從而在啟動后立即停機。
4、短路故障：電機內部的繞組或電纜連接處發生短路，會導致電流迅速增加，超過伺服驅動器的額定電流，從而觸發保護機制，使驅動器停機。
5、散熱不良：伺服驅動器在長時間高負載工作時可能會過熱，導致電流超過額定值，從而觸發過熱保護，使驅動器停機。

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伺服驅動器啟動就停機維修方法
1、測量電源電壓：使用萬用表測量電源電壓，確保其在伺服驅動器規定的范圍內。如果電壓異常，檢查電源線路和電源設備是否正常。
2、電源模塊檢查：若電源線路和電壓均正常，可能是驅動器內部的電源模塊損壞。打開驅動器外殼，檢查電源模塊有無燒焦、異味等損壞跡象。
3、控制信號檢查：確認控制信號的接線是否正確，無接錯或漏接現象。使用示波器等工具檢測控制信號的波形和頻率，確保其正常。
4、負載檢查：確認負載是否超過伺服驅動器的額定功率。檢查負載是否存在異常，如卡頓、堵塞等。
5、電路板檢查：檢查伺服驅動器內部的電路板是否有損壞或異常。使用萬用表等工具檢測電路板上的元件是否工作正常。
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一些制造商將控制器和電機一起稱為驅動系統。但是，從電氣方面來看，驅動器通常是構成變頻逆變器本身的電氣元件。因此，驅動器是控制信號和電機之間的接口，包括電力電子設備，例如SCR（可控硅整流器）、晶體管和晶閘管。在應用中將正確的驅動器與電機類型相匹配對于獲得佳匹配至關重要扭矩、速度和效率。根據特定應用和電機類型的需要，有多種驅動器可供選擇。但總的來說，驅動器類型通常分為兩類；直流和交流驅動器。直流驅動器控制直流電機。基本的直流驅動器在操作上與交流驅動器相似，因為驅動器控制電機的速度。對于直流電機控制，常用的方法是基于晶閘管的控制電路。這些電路由一個晶閘管橋式電路組成，該電路將交流電整流為電機電樞的直流電。
這不僅包括佳驅動器，電機和傳動裝置的選擇，還包括獲得佳節能效果，為了起草和維護機器概念，以用戶為導向的驅動器選型非常重要，DSD有助于創建，優化和記錄驅動解決方案，此外，可以考慮應用的能源效率并使其透明化。

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