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由于傳統電解質的勢壘放電，一種針狀的微等離子放電發生在10 kHz操作下，從而導致不均勻照明。與之相反，高頻射頻放電在2 MHz操作下產生云狀輝光放電，從而導致高均勻照明。這種特性使得準分子燈能提供最低閃爍的穩定輸出。另外，傳統柱狀燈管只能直接在燈管中部以下實現聯合照明，這將導致大量的紫外光被浪費。然而濱松公司的準分子等具有平坦而寬大的發光面積（長：488mm，寬：38mm），這將可能實現近距離照明更大的面積。
