国产三级伦理在线,久久久久黄久久免费漫画,成人国产精品日本在线,欧美美最猛性xxxxxx

    KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積半導體 IGZO 薄膜
    發(fā)布者:伯東企業(yè)(上海)有限公司  發(fā)布時間:2021-03-09 13:39:11  訪問次數(shù):180

    河北某大學實驗室在研究 IGZO 薄膜的特性試驗中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源, 濺射沉積半導體 IGZO 薄膜.

     

    伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數(shù):

    型號

    RFICP140

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >600 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    14 cm Φ

    離子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    5-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    24.6 cm

    直徑

    24.6 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    試驗采用射頻(RF)磁控濺射沉積方法, 在室溫不同壓強下在石英玻璃襯底上制備出高透光率與較好電學性質的透明氧化物半導體 InGaZnO4(IGZO)薄膜, 并對薄膜進行X線衍射(XRD)、生長速率、電阻率和透光率的測試與表征.

     

    結果表明:

    實驗所獲樣品 IGZO 薄膜為非晶態(tài), 薄膜最小電阻率為1.3×10^-3Ω·cm, 根據(jù)光學性能測試結果, IGZO 薄膜在 200~350nm 的紫外光區(qū)有較強吸收, 在 400~900nm 的可見光波段的透過率為75%~97%.

     

    相比傳統(tǒng)的有以下優(yōu)點:

    更小的晶體尺寸, 設備更輕薄;全透明, 對可見光不敏gan, 能夠大大增加元件的開口率, 提高亮度, 降低功耗的電子遷移率大約為, 比傳統(tǒng)材料進步非常明顯, 面板比傳統(tǒng)面板各方面都有提升.

     

    KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現(xiàn)的.

     

    KRI 離子源是領域公認的, 已獲得許多專利. KRI 離子源已應用于許多已成為行業(yè)標準的過程中.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的代理商.

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯東版權所有, 翻拷必究!

免責聲明:焊材網(wǎng)轉載作品均注明出處,本網(wǎng)未注明出處和轉載的,是出于傳遞更多信息之目的,并不意味 著贊同其觀點或證實其內容的真實性。如轉載作品侵犯作者署名權,或有其他諸如版權、肖像權、知識產(chǎn)權等方面的傷害,并非本網(wǎng)故意為之,在接到相關權利人通知后將立即加以更正。聯(lián)系電話:0571-87774297。
0571-87774297  
主站蜘蛛池模板: 开封县| 保定市| 财经| 武汉市| 蒲江县| 阳曲县| 涞源县| 镇宁| 白玉县| 伊宁县| 凌云县| 台州市| 怀柔区| 万盛区| 永嘉县| 水富县| 乌拉特前旗| 甘孜县| 武冈市| 开原市| 福鼎市| 龙胜| 会昌县| 阜南县| 澄迈县| 赤水市| 余江县| 莆田市| 长治市| 德昌县| 海林市| 兴海县| 河源市| 洮南市| 遂宁市| 剑河县| 富裕县| 德格县| 大足县| 辽宁省| 成都市|