国产三级伦理在线,久久久久黄久久免费漫画,成人国产精品日本在线,欧美美最猛性xxxxxx

    Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 用于制作閃耀羅蘭光柵
    發布者:伯東企業(上海)有限公司  發布時間:2020-12-23 16:03:37  訪問次數:127

    長春某研究所在制作閃耀羅蘭光柵的研究中采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 10IBE,制造出的閃耀羅蘭光柵比其他工藝制造的光柵產品整體衍射效率高25%, 實現高衍射效率閃耀羅蘭光柵制作且工藝可控、穩定所制作的閃耀羅蘭光柵衍射效率高于市場同類產品.

     

    Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 技術參數:

    基板尺寸

    < Ф8 X 1wfr

    樣品臺

    直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉

    離子源

    16cm 考夫曼離子源

    均勻性

    ±5% for 4”Ф

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    溫度

    <100

     

    Hakuto 離子刻蝕機 10IBE  離子源是配伯東公司代理美國考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

     

    伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC160 技術參數:

     離子源型號

     離子源 KDC 160 

    Discharge

    DC 熱離子

    離子束流

    >650 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    16 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    2-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    中和器

    燈絲

     

    Hakuto 離子刻蝕機 10IBE 真空腔采用 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.

     

    若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯東版權所有翻拷必究!

免責聲明:焊材網轉載作品均注明出處,本網未注明出處和轉載的,是出于傳遞更多信息之目的,并不意味 著贊同其觀點或證實其內容的真實性。如轉載作品侵犯作者署名權,或有其他諸如版權、肖像權、知識產權等方面的傷害,并非本網故意為之,在接到相關權利人通知后將立即加以更正。聯系電話:0571-87774297。
0571-87774297  
主站蜘蛛池模板: 正定县| 贞丰县| 东乌| 香河县| 福建省| 甘肃省| 广灵县| 建湖县| 鄯善县| 邯郸县| 老河口市| 托里县| 昭苏县| 琼结县| 东兴市| 体育| 望谟县| 邳州市| 珠海市| 宜城市| 梁河县| 沾益县| 乌拉特后旗| 黄骅市| 汪清县| 修文县| 东光县| 泊头市| 怀柔区| 东辽县| 依兰县| 哈密市| 高邮市| 礼泉县| 盘锦市| 宾阳县| 视频| 蒙阴县| 黄大仙区| 赣州市| 紫金县|