千斗工業(yè)設(shè)備（蘇州）有限公司代理銷(xiāo)售日本佐藤真空蒸鍍裝置HSV系列
備，自動(dòng)化設(shè)備制造，醫(yī)藥研發(fā)，大學(xué)研究所等領(lǐng)域。
| 模型 | HSV-3-30G | HSV-8-50 | HSV-12-80 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 極限壓力 | ×10 -3帕 | ×10 -4帕 | |||
| 基板加熱溫度 | - | MAX300℃ | |||
| 蒸發(fā)源（電極） | 2對(duì)10V Max150A | 2對(duì)20V Max200A | |||
| 閥門(mén)操作 | 手動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | 手動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | 手動(dòng)的 |
| 真空室 |
φ300×H300mm 透明玻璃 |
φ500×H500mm（水冷） SUS 304 |
φ800×H700mm（水冷）/前門(mén)式 SUS 304 |
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| 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) | - | 公轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) | 自轉(zhuǎn)/公轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) | ||
| 內(nèi)部機(jī)制 | 快門(mén)機(jī)構(gòu)、電阻加熱機(jī)構(gòu) | 快門(mén)機(jī)構(gòu)、加熱器、電阻加熱機(jī)構(gòu) | |||
| 主泵 | 油擴(kuò)散3英寸 | 油擴(kuò)散8英寸 | 油擴(kuò)散 12 英寸或低溫 | ||
| 輔助泵 | 150升/分鐘 | 500升/分鐘 | 1500升/分鐘 | ||
| 主閥 | 3英寸 | 8英寸 | 12英寸 | ||