千斗工業(yè)科技有限公司專業(yè)代理日本yutaka-crown壓力調(diào)節(jié)器,減壓閥, 壓力調(diào)整器
yutaka-crown L96系列調(diào)壓閥是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品。最適用于低蒸氣壓的氣體。基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格,是具有優(yōu)良外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。
入口壓力 | 0.99MPa以下 |
調(diào)整壓力 | -0.1MPa~0~0.2MPa |
承受壓力 | 22.2MPa(進(jìn)口側(cè)) |
Cv值 | 0.07 |
工作溫度 | -10 至 +40°C |
外部泄漏 | 1×10-11Pa?m3/s?He(真空法) |
內(nèi)容量 | 5.739 厘米(不包括 3 個(gè)壓力表和配件) |
大量的 | 約1.6kg |
安裝方法 | 背面用螺絲安裝(見外圖) |
[備注]