千斗工業(yè)科技有限公司專業(yè)代理日本yutaka-crown壓力調(diào)節(jié)器，減壓閥， 壓力調(diào)整器
L81系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計的產(chǎn)品，具有二級減壓結(jié)構(gòu)�；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)良外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。由于采用二級減壓結(jié)構(gòu)，不易受到原壓力波動的影響，可以獲得穩(wěn)定的壓力和流量。最適合用于絕熱膨脹導(dǎo)致溫度下降較大的液化氣.
| 入口壓力 | 14.8 MPa 以下（Max.19.6 MPa） |
| 調(diào)整壓力 |
Max.0.99MPa （量程規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動 | 進口壓力：每0.1MPa調(diào)整壓力變化0.000007MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（進口側(cè)） |
| Cv值 | 0.03 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外部泄漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內(nèi)容量 | 8.9cm（不包括3個壓力表和接頭） |
| 大量的 | 約2.0kg |
| 安裝方法 | 前后面板安裝用螺母安裝 |
L88系列是專為半導(dǎo)體生產(chǎn)氣體B2H6設(shè)計的產(chǎn)品，采用二級減壓結(jié)構(gòu)。作為抑制B2H6減壓生成產(chǎn)物的措施，中間壓力為3MPa，調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)為平密封式，采用PCTF調(diào)節(jié)閥座抑制缺陷。它也非常適用于絕熱膨脹變化較大的 NF3。
| 入口壓力 | 14.8MPa以下 |
| 調(diào)整壓力 |
Max.0.99MPa （量程規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動 | 進口壓力：每0.1MPa調(diào)整壓力變化0.00075MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（進口側(cè)） |
| Cv值 | 0.08 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外部泄漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內(nèi)容量 | 12.58cm（不包括3個壓力表和接頭） |
| 大量的 | 約2.4kg |
| 安裝方法 | 前后面板安裝用螺母安裝 |
[備注]
■ 單位：mm
■ 請注意，每個尺寸如有更改，恕不另行通知。