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    日本yutaka-crown高壓流量調節器L21 L 20
    發布者:濟南千斗工業科技有限公司  發布時間:2023-03-10 15:01:13  訪問次數:96

    千斗工業科技有限公司專業代理日本yutaka-crown壓力調節器,減壓閥, 壓力調整器 L20系列是專為高壓型半導體工藝制造氣體而設計的產品,基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規格,是具有出色外部泄漏和顆

    千斗工業科技有限公司專業代理日本yutaka-crown壓力調節器,減壓閥, 壓力調整器

    • L20系列是專為高壓型半導體工藝制造氣體而設計的產品,基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規格,是具有出色外部泄漏和顆粒性能的產品。此外,還提供多種選件以支持多種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。

    入口壓力 14.8MPa以下(Max.19.6MPa)
    調整壓力 Max.0.99MPa
    (量程規格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
    氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa調整壓力變化0.00021MPa
    承受壓力 22.2MPa(進口側)
    Cv值 0.09
    工作溫度 -10 至 +40°C
    外部泄漏 1×10-11Pa?m3/s?He(真空法)
    內容量 4.67cm(不包括3個壓力表和接頭)
    大量的 約1.29kg
    安裝方法 使用前面板安裝螺母或后部螺釘安裝(見外部視圖)

    外觀

    • L21系列是專為高壓型半導體工藝制造氣體而設計的產品,基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規格,基本性能比L20系列有所提高。該產品具有優良的外漏和顆粒性能,是氣缸柜的理想選擇。

    入口壓力 14.8MPa以下(Max.24MPa)
    調整壓力 Max.0.99MPa
    (量程規格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
    氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa調整壓力變化0.0005MPa以下
    承受壓力 31.5 MPa(入口側)、1.5 MPa(調整側)
    Cv值 0.09
    工作溫度 -10 至 +40°C
    外部泄漏 1×10-11Pa?m3/s?He(真空法)
    內容量 4.75cm(3個壓力表,不含接頭) 4.75cm(3個壓力表,不含接頭)
    大量的 約1.4kg
    安裝方法 用后螺絲安裝

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