技術數據
入口法蘭 DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K
抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100)
N2 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1)
He 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1)
H2 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1)
壓縮比
N2 >1 × 1011
He 1 x 106
H2 5 x 104
極限壓力 (mbar)
帶有 RV 前級泵 ISO/CF <5 x 10-9 / 5 x 10-10
帶有隔膜前級泵 ISO/CF <5 x 10-8 / 5 x 10-9
出口法蘭 DN16NW
推薦前級泵* RV5/nXDS5i
排氣口 1/8 英寸 BSP
吹掃口 1/8 英寸 BSP
最大連續進氣口壓力（輕氣體泵送）?
水冷卻（15 °C 水，40 °C 環境溫度） 2 × 10-2 mbar
強制空氣冷卻，35°C 環境溫度 1 × 10-2 mbar
泵旋轉速度