針對化工廠廢氣種類以及其中含有的成分，在對其進行處理的時候可以采用多種廢氣處理工藝進行凈化，如光氧催化廢氣處理設備、低溫等離子廢氣處理設備、RTO蓄熱燃燒設備、活性炭吸附箱、水噴淋廢氣處理設備等。
首先，化工廠產生的廢氣經收集后進入噴淋塔廢氣處理設備中，經過填料層，廢氣與氫氧化鈉吸收液進行氣液兩相充分接觸吸收中和反應，用以去除酸性污染物及顆粒物。經過第一層凈化后的廢氣進入到低溫等離子廢氣處理設備中，等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
這種組合型廢氣處理工藝將兩種廢氣處理設備相結合，更具有針對性，凈化效果要比單一的廢氣處理設備更顯著。化工廠廢氣處理的相關方法，可參考化工廠廢氣處理。