旋片式真空泵的旋片與端蓋端面間隙是保證真空度的極重要因素之一：
油箱內的油通過低端蓋油孔通往泵腔端面和端蓋側面的油量調節針閥，另一端有油孔通軸封。滑閥泵等咋端蓋板上有油孔連通軸孔和郵箱并通到油閥調節螺針處。這些，即使對于同一型號的泵，隨著對油路結構設計的不同，廠家也不相同，拆下泵時首先應自吸查清油路。當油路中進油量調節得不適當時，就會影響真空度的升降。
如果真空泵各部件裝配間隙是適合的，給油量過大就會使真空度下降，如果泵的軸和套間隙稍大一點，加大油路的進油量，真空度就能上去一些。
當雙級泵的第一級間隙稍大一點，可將端蓋軸頭的油量適當加大，真空度也會上升。若有些泵沒有調節油路的油閥，又因裝配間隙略大而密封不好。可利用雙級排氣閥之間閥片微量抬起的辦法使其進油量增大一些，這樣在旋片與泵腔接觸處會形成密封油膜，再加上不斷排油，就可以把一些氣體排出去，從而得到較高的真空度。當然，一般以減小其配合間隙來增加其密封性，用抬高閥片的方法搞不好時，易得反效果。另外，如果各部分間隙配合均合適，盲目增大油路的進油量，也會使其真空度明顯下降。
總而言之，如果油路給油量過小，軸孔等處得不到足夠的油來保持潤滑并形成密封油膜，就可能會造成切點間隙無密封油膜而使氣體反“突破”，真空度自然就下降了；如果此時配合精度合適，調節油路便可以使真空度得到改善，如果零部件的精度和光潔度達不到要求，不光造成密封不好，還會造成很多問題。實踐證明，零件的幾何精度是直接影響真空泵性能的主要因素。
例如，軸與套的配合精度比較差，公差過小，則會互相研磨壞；過大，則油膜承受反“突破”壓力的能力將降低易于造成兩級“串氣”，同時會使轉子下沉，增大吸排氣間之上切點間隙，也使油膜易受破壞，造成反“突破”而串氣，總的效果均是使真空度下降。所以軸，套配合精度一定要高。
旋片泵主要零件的幾何精度及主要部位間隙尺寸表： 永嘉縣海坦真空泵廠泵主要零部件的幾何精度
真空泵的轉子與泵腔的型線均為“余擺線”。目前真空泵行業中廣泛使用的油封式機械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。旋片泵在較臟的工作條件下，旋片中轉子槽中卡住。盡管滑泵對著一缺點有一定程度的客服，但由于滑閥的質心相對回轉中心的距離不是定值，雖然在結構上采取了一些動平衡措施，但尚不能達到完全平衡，故振動難以完全消除。尤其泵的容量越大，振動亦更大。同時上述兩種泵，特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。這些缺點迫使人們去研究新型結構的真空泵。