微細小孔加工工藝分析
目前微細小孔加工技術現已廣泛應用于精密過濾設備、化纖噴絲板、噴氣發動機噴嘴、電子計算機打印頭、印刷電路板、天象儀星孔板、航空陀螺儀表元件、飛機葉片以及醫療器械中的紅血球細胞過濾器等零件的加工領城。本文分析用激光加工和電火花微孔加工的方法，每一種加工方法都有其獨特的優點和缺點，這主要取決于工件孔徑的大小，孔的排列，孔的密度，孔的精度要求。
激光加工主要對應的是0.1mm以下的材料，電子工業中已經廣泛地應用了激光加工技術。例如，精密電子部件、集成電路芯片引線以及多層電路板的焊接；混合集成電路中陶瓷基片或寶石基片上的鉆孔、劃線和切片；半導體加工工藝中激光走域加熱和退火；激光刻蝕、摻雜和氧化；激光化學汽相沉積等。但是作為金屬的微細小孔加工，激光存在的問題是會產生一些燒黑的現象，容易改變材料材質，以及殘渣不易清理或無法清理的現象。不是完美的微孔加工解決方案。如果要求不高，可以試用，但是針對批量的訂單，激光加工就無法滿足客戶的交期和成本的期望值。
電火花微孔加工技術隨著微機械、精密機械、光學儀器等領域的不斷拓展而得到廣泛的關注。電火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔徑和深度由調節電參數就可得到控制等優勢，使其在各國的研究日益活躍。電火花精密微孔機利用電火花放電原理加工精密微孔。適合于加工各類噴嘴精密微孔、化纖紡絲板精密微孔等各類精密微孔。數控電火花精密微孔機通過簡單電極數控組合，加工噴絲板不同的規格、形狀、孔型的微孔和噴絲板的各種異形微孔。電火花精密微孔機加工精密圓形微孔范圍一般在在￠0.08-￠1mm，孔深一般在1-3mm以內。孔的加工精度（孔徑Φ0.2mm厚度≤1.0mm材料1Cr18Ni9Ti）±0.003mm。加工表面粗糙度: Ra≤0.4μm.單孔加工時間（孔徑￠0.2mm厚度1.0mm材料1Cr18Ni9Ti）≤30秒。電火花精密微孔機可采用圓形細長絲電極或細長扁絲電極，亦可采用異形整體電極加工圓形或各種異形截面微孔。但是電火花加工是一個典型的慢加工，在加工微細小孔時表現的尤為明顯，時間隨著加工精度的提高而減慢。
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