美國早在1886年即發布過第一個TUF專利，1914年的專利認為TUF的流量與頻率有關。美國的第一臺TUF是在1938年開發的，它用于飛機上燃油的流量測量，只是直至二戰后因噴氣發動機和液體噴氣燃料急需一種高精度、快速響應的流量計才使它獲得真正的工業應用。如今，它已在石油、化工、科研、國防、計量各部門中獲得廣泛應用。
流量測量最早是由瑞士人開始的，在1738年，瑞士著名的物理學家丹尼爾·伯努利以伯努利方程為基礎，利用了差壓法測量了水流量。 后來，意大利物理學家文丘里又用文丘里管測量了流量，并發表了研究成果。 1886年，美國人赫謝爾應用文丘里管制成了測量水流量的的實用測量裝置。 20世紀初期到中期，原有的測量原理逐漸走向成熟，人們不再將思路局限在原有的測量方法上，而是開始了新的探索。1910年時，美國人開始了槽式流量計的研究工作，這種流量計是用來測量明溝中水流量的。1922年，帕歇爾將水槽測量改革為帕歇爾水槽。 槽式流量計發展的同時，美籍匈牙利人卡門正在研究渦街理論，1911年到1912年，他提出了卡門渦街新理論。 到了30年代，又出現了探討用聲波測量液體和氣體的流速的方法聲波測量流量的方法，但到第二次世界大戰為止未獲得很大進展，直到1955才有了應用聲循環法的馬克森流量計的問世，用于測量航空燃料的流量。 1945年，科林用交變磁場成功的測量了血液流動的情況。 20世紀的60年代以后，測量儀表開始向精密化、小型化等方向發展。例如，為了提高了差壓儀表的精確度，出現了力平衡差壓變送器和電容式差壓變送器；為了使電磁流量計的傳感小型化和改善信噪比，出現了用非均勻磁場和低頻勵磁方式的電磁流量計，此外，具有寬測量范圍和無活動檢測部件的實用卡門渦街流量計也在70年代問世。 隨著集成電路技術的迅速發展，具有鎖相環路技術的超聲（波）流量計也得到了普遍應用，微型計算機的廣泛應用，進一步提高了流量測量的能力，如激光多普勒流速計應用微型計算機后，可處理較為復雜的信號。