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基于微機電系統(MicroelectromechanicalSystem,MEMS)技術的電磁型器件,特別是采用軟磁薄膜功能材料的電磁器件,如電磁MEMS開關等,因其工藝復雜而發展滯后。其中,電磁MEMS器件的發展落后于其他類型的MEMS器件,主要在于磁性薄膜材料的微加工工藝標準化程度低,磁性薄膜的形貌和磁性能容易受其他MEMS工藝步驟的影響。本文主要對射頻(Radio Frequency,RF)微機MEMS開關軟磁懸臂梁的制備工藝進行研究。