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    KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射制備 MnGe 量子點
    發布者:伯東企業(上海)有限公司  發布時間:2020-12-29 15:59:36  訪問次數:57

    云南某大學實驗室采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140離子束濺射制備尺寸均勻、高密度的 MnGe 量子點MnGe 量子點屬于半導體量子材料的領域.

     

    伯東 KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數:

    型號

    RFICP 140

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >600 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    14 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    5-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    24.6 cm

    直徑

    24.6 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    運行結果:

    KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 可控性強制備工藝簡單具有較強的商業價值.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

     

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